TXRF技术可以用于纳米材料的定性和定量分析，帮助研究人员了解材料的组成及分布：
纳米颗粒分析：纳米颗粒在许多高科技应用中扮演着关键角色，包括生物医学、催化剂、电子和光学设备等。TXRF技术能够对这些纳米颗粒的成分和表面涂层进行精确分析。
纳米复合材料研究：纳米复合材料通过将不同材料的纳米级组分结合起来，能够产生具有独特物理、化学和机械性能的新型材料。XRF、TXRF技术在研究这些复合材料中的各组成部分及其比例方面具有显著优势。例如，通过TXRF，研究人员可以精确地分析和比较不同纳米复合材料中金属元素的含量，从而优化材料的性能，如硬度、耐磨性和抗腐蚀性能。
在半导体工业中，材料的纯度和微量元素控制对于保证产品质量至关重要。XRF、TXRF等分析仪器作为高效的分析工具，被广泛应用：
杂质检测：检测硅晶片和半导体材料中的微量杂质，比如能够无损地检测出硅晶片中的金属杂质，如铁、铜、镍、铬等，这些元素的浓度通常需要控制在ppb（十亿分之一）甚至更低的水平。
生产控制：在生产控制中的应用包括对原材料、中间产品和最终产品的定期检测，以监控生产过程中的化学成分变化。以确保半导体材料的高纯度和一致性。
